長野計器中國分公司NKS-ZT15系列-半導體用壓力傳感器

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半導體行業用壓力傳感器

半導體行業用壓力傳感器
ZT15系列

產品描述：

半導體行業專用,各種半導體設備的超純氣體壓力測量

產品特征

· 產品體積小
· UC超潔凈處理
· 精度高
· 帶零調及滿偏調節功能
· 產品可靠壽命長

規格參數

測量介質	各種工業氣體、半導體氣體
電氣連接	插頭式
連接口徑	1/4VCR、1/4NPT 如需其他尺寸請聯系我們。
接液部材質	接頭： SUS316L
壓力范圍	0～0.3→0～20MPa
壓力范圍	-0.1～0.3→-0.1～2MPa
精度	± 1.0%
電源	24V DC
輸出	4-20mA 1-5V DC
響應速度	1ms以下
溫度范圍	-20-70℃
防護等級	室內用

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